REM – FEI Helios Nano Lab 650

Technische Spezifikationen

  • Hochauflösendes Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop mit 2 Säulen
  • Auflösung Elektronenstrahl:
    – 0.8 nm bei 15 kV
    – 1.5 nm bei 200 V
  • Auflösung Ionenstrahl:
    – 4.0 nm bei 30 kV unter Verwendung einer bevorzugten statistischen Methode
    – 2.5 nm bei 30 kV unter Verwendung der selektiven Kantenmethode
  • Maximale Probengrösse: 150 mm im Durchmesser, 55 mm in der Höhe
  • Maximales Probengewicht: 500 g (inkl. Probenhalter)

Detektoren und Mikroanalyse

  • Elstar in-lens SE Detektor (TLD-SE)
  • Elstar in-lens BSE Detektor (TLD-BSE)
  • Everhart-Thornley SE Detektor (ETD)
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS), Genesis & Team Software

Typische Applikationen und Zubehör

  • Abbilden, Analysieren, Fräsen und Strukturierung von Proben bis in den Nanometerbereich
  • TEM lift out / TEM lamella
  • Nanofabrikation und Mikromanipulation
  • Multiples Gasinjektionssystem für Pt-, W-, C-, Co- und H20- Abscheidung
  • Korrelative Mikroskopie (LM – REM)
  • Micromanipulator von Kleindiek
  • Lift Out Shuttle von Kleindiek
  • Eucentric five Axis Table von Kleindiek
  • Mikromanipulator OmniProbe 200

Standort

Pharmazentrum, U1007