REM – FEI Helios Nano Lab 650

Technische Spezifikationen

• Hochauflösendes Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop mit 2 Säulen
• Auflösung Elektronenstrahl:
  – 0.8 nm bei 15 kV
  – 1.5 nm bei 200 V
• Auflösung Ionenstrahl:
  – 4.0 nm bei 30 kV unter Verwendung einer bevorzugten statistischen Methode
  – 2.5 nm bei 30 kV unter Verwendung der selektiven Kantenmethode
• Maximale Probengrösse: 150 mm im Durchmesser, 55 mm in der Höhe
• Maximales Probengewicht: 500 g (inkl. Probenhalter)

Detektoren und Mikroanalyse

• Elstar in-lens SE Detektor (TLD-SE)
• Elstar in-lens BSE Detektor (TLD-BSE)
• Everhart-Thornley SE Detektor (ETD)
• Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS), Genesis & Team Software

Typische Applikationen und Zubehör

• Abbilden, Analysieren, Fräsen und Strukturierung von Proben bis in den Nanometerbereich
• TEM lift out / TEM lamella
• Nanofabrikation und Mikromanipulation
• Multiples Gasinjektionssystem für Pt-, W-, C-, Co- und H20- Abscheidung
• Korrelative Mikroskopie (LM – REM)
• Micromanipulator von Kleindiek
• Lift Out Shuttle von Kleindiek
• Eucentric five Axis Table von Kleindiek
• Mikromanipulator OmniProbe 200

Standort

Pharmazentrum, U1007