Nano Fabrication Lab

Reinraum

Das Nano Fabrication Lab (NF Lab) ist im Departement Physik der Universität Basel (Klingelbergstrasse 82, 4056 Basel) angesiedelt und bildet zusammen mit dem Nano Imaging Lab (NI Lab) das Nano Technology Center des SNI.

Das Nano Fabrication Lab bietet die Ausrüstung, das Umfeld und die Erfahrung, die für die Herstellung und das Prototyping von hochmodernen Mikro- und Nanobauteilen benötigt werden, die in der Grundlagenforschung und angewandten Physik der kondensierten Materie eingesetzt werden. Die hochmodernen Lithographie-, Abscheidungs-, Ätz- und Nachbearbeitungssysteme sowie der Reinraum (CR) ermöglichen es den Nutzern des Nano Fabrication Labs, routinemäßig Metall-, Halbleiter- und Polymermaterialien im Mikro- (<100 μm) und Nanomassstab (<100 nm) zu strukturieren und zu bearbeiten. Dies führt zu exzellenten Nanomaterialien und -geräten, die den Kern der experimentellen Forschungsprojekte innerhalb des SNI bilden.

    Reinraum

    Zur Zeit gehören zum Nano Fabrication Lab:

    • 500 m2 Laborfläche (30 m2 Reinraum der Klasse ISO7)
    • 70+ Kund:innen
    • 40+ Geräte für die Fabrikation und Charakterisierung
    • Ein Reinraum-Techniker und ein Labor-Manager