REM – FEI Nova Nano SEM 230

Technische Spezifikationen

• Hochauflösende, thermische Feldemissionskathode
• Auflösung Elektronenstrahl:
  – 1.0 nm bei 15 kV
  – 1.6 nm bei 1 kV

Detektoren und Mikroanalyse

• SE Detektor (Everhart-Thornley)
• SE In-Lens Detektor (TLD-SE)
• Rückstreu-Elektronendetektor (TLD-BSE)
• Octane Elite Detector für EDS-Analyse mit APEX Software
• Low Energy Röntgenstrahl Spektrometer (LEXS)

Typische Applikationen

• Abbildung und Materialanalyse
• Kristallographische Bestimmung im Nanobereich

Standort

Pharmazentrum, U1002